新技術の概要（発明のポイント）

高温状況で使用可能な超音波圧電センサが求められている。そこで発明者らはCBTa/PZTを用いた圧電膜を作成する方法を提案した。評価実験では厚さ3mmのチタン基板上に圧電膜を作製し、電気炉中で超音波モニタリングを行った。実験の結果、高温においても明瞭な反射波の確認に成功した。

従来技術・競合技術との比較

高温圧電材料は単結晶材料が多く、耐熱衝撃性が低く、実用性に難があった。また、従来の超音波トランスデューサの間に用いる音響接合剤であるカプラントおよび超音波トランスデューサ内部に使用されているバッキング材の耐熱性の問題から、高温状況における長期間の使用は困難であった。

新技術の特徴

・高温でも動作する耐熱性
・厚さ200μm以下の薄膜構造
・フレキシブルで切削性も良好

想定される用途

・作製/加工中のモニタリング
・化学プラントのモニタリング
・発電プラントのモニタリング

特許情報

［出願番号］特願2017-114694

［出願公開広報の発行状況］